Везде

ОФНРадиотехника и электроника Journal of Communications Technology and Electronics

  • ISSN (Print) 0033-8494
  • ISSN (Online) 3034-5901

О влиянии кислородной бомбардировки на структурообразование пленок оксида гафния

Вы можете
Код статьи
10.31857/S0033849424110058-1
DOI
10.31857/S0033849424110058
Тип публикации
Статья
Статус публикации
Опубликовано
Авторы
Лузанов В. А.
  • Аффилиация: Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН
Том/ Выпуск
Том 69 / Номер выпуска 11
Страницы
1076-1078
Аннотация
Методом магнетронного реактивного распыления в условиях кислородной бомбардировки получены пленки оксида гафния. Структурный анализ показал, что присутствие кислородной бомбардировки в процессе роста пленки приводит к изменениям ближнего порядка в кристаллической структуре полученных пленок.
Ключевые слова
оксид гафния кислородная бомбардировка фазовый переход
Дата публикации
16.09.2025
Год выхода
2025
Всего подписок
0
Всего просмотров
12

Библиография

  1. 1. Böscke T., Müller J., Bräuhaus D. et al. // Int. Electron Devices Meeting. 2011. P. 24.5.1.
  2. 2. Grüger H., Kunath C., Kurth E. et al. // Thin Solid Films. 2004. № 447. P. 509.
  3. 3. Cavalieri M., O’Connor É., Gastaldi C. et al. // ACS Appl. Electron. Mater. 2020. V. 2. № 6. P. 1752.
  4. 4. He J. Q., Teren A., Jia C. L. et al. // J. Сrystal Growth. 2004. № 262. P. 295.
  5. 5. Tongpenga S., Makbuna K., Peanporma P. et al. // Materials Today: Proceedings. 2019. V. 17. Pt. 4. P. 1555.
  6. 6. Belo G. S., Nakagomi F., Minko A. et al. // Appl. Surf. Sci. 2012. № 261. P. 727.
  7. 7. Лузанов В. А., Алексеев С. Г., Ползикова Н. И. // РЭ. 2018. Т. 63. № 9. P. 1015.
QR
Перевести

Индексирование

Scopus

Scopus

Scopus

Crossref

Scopus

Высшая аттестационная комиссия

При Министерстве образования и науки Российской Федерации

Scopus

Научная электронная библиотека