ОФНРадиотехника и электроника Journal of Communications Technology and Electronics

  • ISSN (Print) 0033-8494
  • ISSN (Online) 3034-5901

ЭФФЕКТИВНОСТЬ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ (111)А-, (411)А-ОРИЕНТИРОВАННЫХ ПОДЛОЖЕК ПРИ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОМ ЭПИТАКСИАЛЬНОМ РОСТЕ ФОТОПРОВОДЯЩИХ СТРУКТУР (In,Ga)As, ПРИМЕНЯЕМЫХ ДЛЯ ГЕНЕРАЦИИ ТЕРАГЕРЦЕВЫХ ИМПУЛЬСОВ

Код статьи
S3034590125080073-1
DOI
10.7868/S3034590125080073
Тип публикации
Статья
Статус публикации
Опубликовано
Авторы
Том/ Выпуск
Том 70 / Номер выпуска 8
Страницы
761-779
Аннотация
Представлено обобщение результатов исследований, проводившихся, начиная с 2016 г., и посвященных эпитаксиальному выращиванию однослойных и многослойных структур (In,Ga)As на подложках GaAs (111)A и InP (411) при пониженной температуре и генерации импульсного излучения терагерцевого (ТГц) диапазона путем облучения фемтосекундными оптическими импульсами непосредственно поверхности этих пленок либо зазора фотопроводящих антенн, изготовленных на поверхности пленок. Каждая из пленок по своему кристаллическому совершенству и эффективности ТГц-генерации сравнивалась с пленкой аналогичного состава, выращенной на подложке GaAs либо InP со стандартной ориентацией поверхности (100). Показано, что пленки, выращенные в низкотемпературном режиме на нестандартных подложках (111)А, (411)А, насыщены протяженными дефектами (двойниками, дефектами упаковки, малоугловыми границами блоков мозаики), частично или полностью поликристалличны, однако это не является препятствием для более эффективной генерации ТГц-импульсов по сравнению с аналогичными пленками на стандартных подложках (100), которые менее дефектны и обеспечивают значительно бóльшую подвижность электронов.
Ключевые слова
поверхность (111)А поверхность (411)А низкотемпературный GaAs низкотемпературный InGaAs молекулярно-лучевая эпитаксия фотопроводящая антенна терагерцевое излучение терагерцевая спектроскопия с временным разрешением точечный антиструктурный дефект время жизни фотоэлектронов фемтосекундный лазер амфотерная примесь дырочная проводимость дефекты упаковки дефекты двойникования малоугловые границы мозаичный монокристалл поликристаллические зерна
Дата публикации
01.08.2025
Год выхода
2025
Всего подписок
0
Всего просмотров
41

Библиография

  1. 1. Yanze Xie. Morphology of InGaAs Multilayer Nanostructure on GaAs High-Index Surfaces. Graduate Theses and Dissertations. Fayetteville: Univ. Arkansas, 2009. 70 p. https://scholarworks.uark.edu/etd/46
  2. 2. Missous M., O'Hagan S. // J. Appl. Phys. 1994. V. 75. № 7. P. 3396.
  3. 3. Liu X., Prasad A., Chen W.M. et al. // Appl. Phys. Lett. 1994. V. 65. № 23. P. 3002.
  4. 4. Liu X., Prasad A., Nishio J. et al. // Appl. Phys. Lett. 1995. V. 67. № 2. P. 279.
  5. 5. Krotkus A., Bertulis K., Dapkus L. et al. // Appl. Phys. Lett. 1999. V. 75. № 21. P. 3336.
  6. 6. Haiml M., Siegner U., Morier-Genoud F. et al. // Appl. Phys. Lett. 1999. V. 74. № 9. P. 1269.
  7. 7. Woolf D.A., Sobiesierski Z., Westwood D.I., Williams R.H. // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. №10. P. 4908. https://doi.org/10.1063/1.350638
  8. 8. Paves L., Piazza F., Henini M., Harrison I. // Semiconductors Sci. Technol. B. 1993. V. 8. № 2. P. 167.
  9. 9. Галиев Г.Б., Мокеров В.Г., Слепнев Ю.В. и др. // ЖТФ. 1999. T. 69. № 7. C. 68.
  10. 10. Sadao Adachi. Properties of Semiconductor Alloys: Group-IV, III–V and II–VI Semiconductors. Chichester: John Wiley & Sons Ltd, 2009.
  11. 11. Baker C., Gregory I.S., Tribe W.R. et al. // Appl. Phys. Lett. 2004. V. 85. № 21. P. 4965. https://doi.org/10.1063/1.1824179
  12. 12. Takazato A., Kamakura M., Matsui T., et al. // Appl. Phys. Lett. 2007. V. 91. №1. P. 011102. https://doi.org/10.1063/1.2754370
  13. 13. Галиев Г.Б., Климов Е.А., Клочков А.Н. и др. Материал для фотопроводящих антенн. Патент РФ № 2610222. Опубл. офиц. бюл. «Изобретения. Полезные модели» № 4 от 10.02.2017.
  14. 14. Галиев Г.Б., Есаулков М.Н., Климов Е.А. и и др. // Тез. докл. XIII Российской конф. по физике полупроводников. Екатеринбург, 2–6 окт. 2017. Екатеринбург: ИФМ им. Михеева УрО РАН, 2017. С. 340.
  15. 15. Klimov E., Kochkov A., Solyankin P. et al. // Int. J. Modern Phys. B. 2024. V. 38. №28. P. 2450378. https://doi.org/10.1142/S0217979224503788
  16. 16. Lilienal-Weber Z., Swider W., Yu K.M., et al. // Appl. Phys. Lett. 1991. V. 58. №19. P. 2153.
  17. 17. Галиев Г.Б., Каимов Е.А., Грехов М.М. и др. // ФТП. 2016. T. 50. № 2. C. 195.
  18. 18. Галиев Г.Б., Каимов Е.А., Васильев А.Л. и др. // Кристаллография. 2017. T. 62. № 1. C. 77.
  19. 19. Галиев Г.Б., Пушкарев С.С., Буряков А.М. и др. // ФТП. 2017. T. 51. № 4. C. 529.
  20. 20. Галиев Г.Б., Буряков А.М., Билык В.Р. и др. // Нано-и микросистемная техника. 2017. T. 19. № 9. C. 515. https://doi.org/10.17587/nmst.19.515-526
  21. 21. Klochkov A.N., Galiev G.B., Klimov E.A., Pushkarev S.S. // Phys. Stat. Sol. B. 2023. V. 260. № 2. Article No. 2200297. https://doi.org/10.1002/pssb.202020297
  22. 22. Галиев Г.Б., Каимов Е.А., Клочков А.Н. и др. // ФТП. 2018. T. 52. № 3. C. 395.
  23. 23. Галиев Г.Б., Климов Е.А., Мальцев П.П., Пушкарев С.С Полупроводниковая структура для фотопроводящих антенн. Патент РФ № 2624612. Опубл. офиц. бюл. «Изобретения. Полезные модели» № 19 от 10.07.2017.
  24. 24. Галиев Г.Б., Трунькин И.Н., Васильев А.Л., и др. // Кристаллография. 2019. T. 64. № 2. C. 184.
  25. 25. Вuryakov A.M., Ivanov M.S., Khusyainov D.I. et al. // Annalen der. Physik. 2021. V. 533. № 8. Article No. 2100041. https://doi.org/10.1002/andp.202100041
  26. 26. Буряков А.М., Билык В.Р., Мишина Е.Д. и др. // Нано- и микросистемная техника. 2017. T. 19. № 2. С. 77. https://doi.org/10.17587/nmsi.19.77-84
  27. 27. Клочков А.Н., Климов Е.А., Солянкин П.М. и др. // Оптика и спектроскопия. 2020. T. 128. № 7. С. 1004. https://doi.org/10.21883/OS.2020.07.49574.17-20
  28. 28. Галиев Г.Б., Климов Е.А., Клочков А.Н., и др. Материал на основе InGaAs на подложках InP для фотопроводящих антенн. Патент РФ № 2657306. Опубл. офиц. бюл. «Изобретения. Полезные модели» №17 от 20.06.2018.
  29. 29. Міуagawa A., Yamamoto T., Ohnishi Y., et al. // J. Crystal Growth. 2002. V. 237–239. Р. 1434.
  30. 30. Галиев Г.Б., Климов Е.А., Пушкарев С.С. и др. // Кристаллография. 2017. T. 62. № 4. С. 604.
  31. 31. Галиев Г.Б., Грехов М.М., Китаева Г.Х. и др. // ФТП. 2017. T. 51. № 3. С. 322.
  32. 32. Галиев Г.Б., Трунькин И.Н., Климов Е.А. и др. // Кристаллография. 2017. T. 62. № 6. С. 956.
  33. 33. Kuznetsov K., Klochkov A., Leontyev A. et al. // Electronics. 2020. V. 9. Article No. 495. https://doi.org/10.3390/electronics9030495
  34. 34. Kuznetsov K.A., Galiev G.B., Kitaeva G.Kh. et al. // Laser Physics Lett. 2018. V. 15. № 7. Р. 076201. https://doi.org/10.1088/1612-202X/aac7bb
  35. 35. Roux Jean-Francois, Coutaz Jean-Louis, Krotkus Arunas // Appl. Phys. Lett. 1999. V. 74. № 17. Р. 2462. https://doi.org/10.1063/1.123881
QR
Перевести

Индексирование

Scopus

Scopus

Scopus

Crossref

Scopus

Высшая аттестационная комиссия

При Министерстве образования и науки Российской Федерации

Scopus

Научная электронная библиотека