- PII
- 10.31857/S0033849424110078-1
- DOI
- 10.31857/S0033849424110078
- Publication type
- Article
- Status
- Published
- Authors
- Volume/ Edition
- Volume 69 / Issue number 11
- Pages
- 1095-1098
- Abstract
- The experiments were carried out to characterize plasma of a non-sputtering millisecond discharge in hydrogen at a pressure of ~ 1 Torr, pulse duration and a maximum impulse power near 1 ms and 80 kW, correspondingly. It has been demonstrated that the implementation of impulse non-sputtering modes of a magnetron discharge in light gases enables generation of dense non-constricted plasma with no lines of cathode or anode material present in its optical emission spectra.
- Keywords
- нераспыляющий магнетронный разряд дуговой разряд водород оптическая эмиссионная спектроскопия
- Date of publication
- 12.11.2024
- Year of publication
- 2024
- Number of purchasers
- 0
- Views
- 40
References
- 1. Мозгрин Д. В., Ходаченко Г. В., Фетисов И. К.// Физика плазмы. 1995. Т. 21. № 5. P. 422.
- 2. Gudmundsson J. T., Brenning N., Lundin D., Helmersson U. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2012. V. 30. № 3. P. 030801.
- 3. Ходаченко Г. В., Мозгрин Д. В., Фетисов И. К., Степанова Т. В.// Физика плазмы. 2012. Т. 38. № 1. С. 71.
- 4. Kaziev A. V. // Vacuum. 2018. V. 158. P. 191.
- 5. Sommerer T. J., Aceto S. C., Trotter J. F. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2019. V. 52. № 43. P. 435202.
- 6. Smith D. J., Sommerer T. J., Lawler J. E., Hitchon W. N. G. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2021. V. 54. № 29. P. 295201.
- 7. Levko D., Raja L. L. // J. Appl. Phys. 2022. V. 132. № 24. P. 243301.
