- PII
- 10.31857/S0033849424100106-1
- DOI
- 10.31857/S0033849424100106
- Publication type
- Article
- Status
- Published
- Authors
- Volume/ Edition
- Volume 69 / Issue number 10
- Pages
- 1000-1003
- Abstract
- Hafnium oxide films containing a non-centrosymmetric orthorhombic phase capable of spontaneous polarization were obtained by magnetron sputtering. It was shown that the presence of bombardment with negative oxygen ions promotes the formation of the orthorhombic phase.
- Keywords
- пленки оксида гафния сегнетоэлектрики орторомбическая фаза
- Date of publication
- 16.09.2025
- Year of publication
- 2025
- Number of purchasers
- 0
- Views
- 12
References
- 1. Schenk T., Pešić1 M., Slesazeck S. et.al. // Reports on Progress in Physics. 2020. V. 83. № 8. P. 086501.
- 2. Kim Min-Kyu, Kim Ik-Jyae, Lee Jang-Sik // Sci. Adv. 2021. V. 7. № 3. P. 1.
- 3. Mikolajick T., Schroeder U., Slesazeck S. // IEEE Trans. 2020. V. ED-67. № 4. P. 1434.
- 4. Park J. Y., Yang K., Lee D. H. et al. // J. Appl. Phys. 2020. V. 128. № 24. P. 240904.
- 5. Mikolajick T., Slesazeck S., Park M. H., Schroeder U. // MRS Bull. 2018. V. 43. № 5. P. 340.
- 6. Перевалов Т. В., Гриценко В. А., Гутаковский А. К., Просвирин И. П. // Письма в ЖЭТФ. 2019. Т. 109. № 2. С. 112.
- 7. Горшков Д.В., Закиров, Е.Р., Сидоров Г.Ю. и др. // Изв. вузов. Физика. 2023. Т. 66. № 6. С. 111.
- 8. Соколов А.А., Овчинников А.А., Лысенков К.М. и др. // ЖТФ. 2010. Т. 80. № 7. С. 131.
- 9. Лузанов В.А. Магнетронное распылительное устройство. Патент РФ на изобретение № 2761900. Опубл. офиц. бюл. «Изобретения. Полезные модели». № 35 от 13.12. 2021.
- 10. Лузанов В.А., Алексеев С.Г., Ползикова Н.И. // РЭ. 2018. Т. 63. № 9. С. 1015.
