By this author

FEATURES OF THE CELLULAR MICROSTRUCTURES FORMATION IN IRON-GARNET FILMS USING FOCUSED ION BEAM ETCHING

Issue number 7 from 01.07.2025

Представлены результаты формирования ячеистых микроструктур в диэлектрических пленках ферритов-гранатов с использованием локальной модификации поверхности (травления) пленок с помощью сфокусированного ионного пучка. Показано, что для компенсации возникающего в процессе травления поверхностного заряда в ферритах-гранатах эффективно использование сканирующего электронного микроскопа одновременно при работе с ионной колонной, причем без предварительного напыления на пленку дополнительного проводящего слоя. Для реализации внутри ячеек монодоменного состояния глубина травления должна составлять более половины исходной толщины пленки, а при выборе латеральных размеров ячеек необходимо учитывать размеры исходной доменной структуры в пленке.

43 0