By this author

Flow of high-energy positive oxygen ions from plasma onto the substrate in a pulsed magnetron discharge with a hot target.

Issue number 10 from 16.09.2025

Зарегистрирована группа высокоэнергетичных положительных ионов O⁺ в потоке из плазмы сильноточного импульсного магнетронного разряда с горячей мишенью в газовой смеси Ar/O₂. Механизмом возникновения ускоренных ионов O⁺ может выступать конверсия ускоренных в катодном слое отрицательных ионов O^– → O⁺ в процессах перезарядки или ионизации электронным ударом.

9 0