Статьи автора

Поток положительных ионов кислорода с высокой энергией из плазмы на подложку в импульсном магнетронном разряде с горячей мишенью

Номер выпуска 10 от 16.09.2025

Зарегистрирована группа высокоэнергетичных положительных ионов O⁺ в потоке из плазмы сильноточного импульсного магнетронного разряда с горячей мишенью в газовой смеси Ar/O₂. Механизмом возникновения ускоренных ионов O⁺ может выступать конверсия ускоренных в катодном слое отрицательных ионов O^– → O⁺ в процессах перезарядки или ионизации электронным ударом.

8 0