Статьи автора

Получение пленок оксида кремния методом импульсного магнетронного осаждения с горячей мишенью в реакционной среде

Номер выпуска 11 от 01.11.2023

Исследованы режимы существования импульсного магнетронного разряда с горячей теплоизолированной кремниевой мишенью при работе в газовой смеси, содержащей кислород (Ar + O₂). Рассмотрен диапазон средней плотности мощности на мишени 60…120 Вт/см² при длительности импульсов 100…300 мкс и частоте повторения 0.5…2 кГц. Построены карты стабильных режимов работы распылительной системы. Получены и продиагностированы покрытия Si_xO_y на подложках из монокристаллического кремния при различных значениях доли кислорода в газовом потоке и различных параметрах импульсного питания магнетрона.

54 0