Статьи автора

Поток положительных ионов кислорода с высокой энергией из плазмы на подложку в импульсном магнетронном разряде с горячей мишенью

Номер выпуска 10 от 01.10.2023

Зарегистрирована группа высокоэнергетичных положительных ионов O⁺ в потоке из плазмы сильноточного импульсного магнетронного разряда с горячей мишенью в газовой смеси Ar/O₂. Механизмом возникновения ускоренных ионов O⁺ может выступать конверсия ускоренных в катодном слое отрицательных ионов O^– → O⁺ в процессах перезарядки или ионизации электронным ударом.

68 0

Получение пленок оксида кремния методом импульсного магнетронного осаждения с горячей мишенью в реакционной среде

Номер выпуска 11 от 01.11.2023

Исследованы режимы существования импульсного магнетронного разряда с горячей теплоизолированной кремниевой мишенью при работе в газовой смеси, содержащей кислород (Ar + O₂). Рассмотрен диапазон средней плотности мощности на мишени 60…120 Вт/см² при длительности импульсов 100…300 мкс и частоте повторения 0.5…2 кГц. Построены карты стабильных режимов работы распылительной системы. Получены и продиагностированы покрытия Si_xO_y на подложках из монокристаллического кремния при различных значениях доли кислорода в газовом потоке и различных параметрах импульсного питания магнетрона.

53 0

Диагностика сильноточного нераспыляющего магнетронного разряда в водороде

Номер выпуска 11 от 01.11.2024

Проведены эксперименты по диагностике плазмы нераспыляющего разряда миллисекундной длительности в водороде при давлении ~ 1 Торр, длительности и максимальной мощности импульса соответственно около 1 мс и 80 кВт. Показано, что применение импульсных нераспыляющих режимов магнетронного разряда в легких газах позволяет получать плотную неконтрагированную плазму при отсутствии в спектрах оптического излучения линий, соответствующих частицам материала катода или анода.

60 0