Статьи автора

Поток положительных ионов кислорода с высокой энергией из плазмы на подложку в импульсном магнетронном разряде с горячей мишенью

Номер выпуска 10 от 01.10.2023

Зарегистрирована группа высокоэнергетичных положительных ионов O⁺ в потоке из плазмы сильноточного импульсного магнетронного разряда с горячей мишенью в газовой смеси Ar/O₂. Механизмом возникновения ускоренных ионов O⁺ может выступать конверсия ускоренных в катодном слое отрицательных ионов O^– → O⁺ в процессах перезарядки или ионизации электронным ударом.

67 0

Получение пленок оксида кремния методом импульсного магнетронного осаждения с горячей мишенью в реакционной среде

Номер выпуска 11 от 01.11.2023

Исследованы режимы существования импульсного магнетронного разряда с горячей теплоизолированной кремниевой мишенью при работе в газовой смеси, содержащей кислород (Ar + O₂). Рассмотрен диапазон средней плотности мощности на мишени 60…120 Вт/см² при длительности импульсов 100…300 мкс и частоте повторения 0.5…2 кГц. Построены карты стабильных режимов работы распылительной системы. Получены и продиагностированы покрытия Si_xO_y на подложках из монокристаллического кремния при различных значениях доли кислорода в газовом потоке и различных параметрах импульсного питания магнетрона.

53 0

Нелинейность вольт-амперных характеристик тонких пленок алмазоподобного углерода с примесью никеля

Номер выпуска 5 от 29.12.2025

При комнатной температуре исследованы вольт-амперные характеристики структур Pt/DLC/Pt на базе тонких (40 нм) пленок алмазоподобного углерода (DLC) с примесью Ni. Пленки синтезировали в разряде с полым никелевым катодом (РПК) из смеси аргона и пропана при одновременном осаждении DLC и никеля путем физического распыления материала катода. Концентрацию Ni (10, 20 и 40 ат.%) варьировали за счет изменения доли пропана (реакционного газа) в плазмообразующем газе (аргон) в диапазоне C₃H₈: Ar ~ 1:(1000…7000). Обнаруженное нелинейное поведение вольт-амперных характеристик структур – зависимости кондактанса G от поперечного напряжения V, G ∝ exp(A V^1/2) – согласуется с моделью Френкеля–Пула. Отмеченное уменьшение наклона зависимостей ln(G) от V^1/2 с увеличением содержания никеля объяснено ростом диэлектрической проницаемости DLC(Ni) при увеличении содержания Ni. Определен порог протекания, соответствующий концентрации Ni ~ 20 aт.%.

69 0

О допированных железом алмазоподобных пленках, полученных в разряде с полым катодом

Номер выпуска 10 от 01.10.2024

Представлены результаты измерения вольт-амперных характеристик допированных железом алмазоподобных пленок, полученных комбинированным методом физического распыления железного катода и плазмохимического осаждения в разряде с полым катодом. Показан нелинейный характер поперечной проводимости пленки, а также отмечено значительное влияние амплитудного значения напряжения развертки на амплитудное значение тока и форму вольт-амперной характеристики.

69 0

Диагностика сильноточного нераспыляющего магнетронного разряда в водороде

Номер выпуска 11 от 01.11.2024

Проведены эксперименты по диагностике плазмы нераспыляющего разряда миллисекундной длительности в водороде при давлении ~ 1 Торр, длительности и максимальной мощности импульса соответственно около 1 мс и 80 кВт. Показано, что применение импульсных нераспыляющих режимов магнетронного разряда в легких газах позволяет получать плотную неконтрагированную плазму при отсутствии в спектрах оптического излучения линий, соответствующих частицам материала катода или анода.

59 0