Диагностика сильноточного нераспыляющего магнетронного разряда в водороде

Казиев А. В.; Колодко Д. В.; Сазонов Н. С.; Харьков М. М.; Тумаркин А. В.

doi:10.31857/S0033849424110078

Код статьи

10.31857/S0033849424110078-1

DOI

10.31857/S0033849424110078

Тип публикации

Статья

Статус публикации

Опубликовано

Авторы

Казиев А. В.

Аффилиация:
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН

Колодко Д. В.

Аффилиация:
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН
Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

Сазонов Н. С.

Аффилиация: Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

Харьков М. М.

Аффилиация: Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

Тумаркин А. В.

Аффилиация: Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

Том/ Выпуск

Том 69 / Номер выпуска 11

Страницы

1095-1098

Аннотация

Проведены эксперименты по диагностике плазмы нераспыляющего разряда миллисекундной длительности в водороде при давлении ~ 1 Торр, длительности и максимальной мощности импульса соответственно около 1 мс и 80 кВт. Показано, что применение импульсных нераспыляющих режимов магнетронного разряда в легких газах позволяет получать плотную неконтрагированную плазму при отсутствии в спектрах оптического излучения линий, соответствующих частицам материала катода или анода.

Ключевые слова

нераспыляющий магнетронный разряд дуговой разряд водород оптическая эмиссионная спектроскопия

Дата публикации

01.11.2024

Год выхода

2024

Всего подписок

Всего просмотров

Библиография

1. Мозгрин Д. В., Ходаченко Г. В., Фетисов И. К.// Физика плазмы. 1995. Т. 21. № 5. P. 422.
2. Gudmundsson J. T., Brenning N., Lundin D., Helmersson U. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2012. V. 30. № 3. P. 030801.
3. Ходаченко Г. В., Мозгрин Д. В., Фетисов И. К., Степанова Т. В.// Физика плазмы. 2012. Т. 38. № 1. С. 71.
4. Kaziev A. V. // Vacuum. 2018. V. 158. P. 191.
5. Sommerer T. J., Aceto S. C., Trotter J. F. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2019. V. 52. № 43. P. 435202.
6. Smith D. J., Sommerer T. J., Lawler J. E., Hitchon W. N. G. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2021. V. 54. № 29. P. 295201.
7. Levko D., Raja L. L. // J. Appl. Phys. 2022. V. 132. № 24. P. 243301.

ГОСТ	Казиев А. , Колодко Д. , Сазонов Н. , Тумаркин А. , Харьков М. Диагностика сильноточного нераспыляющего магнетронного разряда в водороде // Радиотехника и электроника. – 2024. – T. 69. – Номер выпуска 11 C. 1095-1098 . URL: https://radiotechras.ru/10-31857-s0033849424110078-1/?version_id=111140. DOI: 10.31857/S0033849424110078
MLA	Kaziev, A. V, Kharkov, M. M, Kolodko, D. V, Sazonov, N. S, Tumarkin, A. V "Diagnostics of a high-current non-sputtering magnetron discharge in hydrogen." Journal of Communications Technology and Electronics. 69.11 (2024).:1095-1098. DOI: 10.31857/S0033849424110078
APA	Kaziev A., Kharkov M., Kolodko D., Sazonov N., Tumarkin A. (2024). Diagnostics of a high-current non-sputtering magnetron discharge in hydrogen. Journal of Communications Technology and Electronics. vol. 69, no. 11, pp.1095-1098 DOI: 10.31857/S0033849424110078

ОФНРадиотехника и электроника Journal of Communications Technology and Electronics

Диагностика сильноточного нераспыляющего магнетронного разряда в водороде

Вы можете

Библиография

Индексирование

ОФНРадиотехника и электроника Journal of Communications Technology and Electronics

Диагностика сильноточного нераспыляющего магнетронного разряда в водороде

Вы можете

Библиография

Индексирование

Войти через