Везде

ОФНРадиотехника и электроника Journal of Communications Technology and Electronics

  • ISSN (Print) 0033-8494
  • ISSN (Online) 3034-5901

О допированных железом алмазоподобных пленках, полученных в разряде с полым катодом

Вы можете
Код статьи
10.31857/S0033849424100099-1
DOI
10.31857/S0033849424100099
Тип публикации
Статья
Статус публикации
Опубликовано
Авторы
Сорокин И. А.
  • Аффилиация:
    Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
    Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
Том/ Выпуск
Том 69 / Номер выпуска 10
Страницы
996-999
Аннотация
Представлены результаты измерения вольт-амперных характеристик допированных железом алмазоподобных пленок, полученных комбинированным методом физического распыления железного катода и плазмохимического осаждения в разряде с полым катодом. Показан нелинейный характер поперечной проводимости пленки, а также отмечено значительное влияние амплитудного значения напряжения развертки на амплитудное значение тока и форму вольт-амперной характеристики.
Ключевые слова
алмазоподобный углерод плазмохимическое осаждение разряд с полым катодом тонкая пленка нелинейная вольт-амперная характеристика электропроводность
Дата публикации
16.09.2025
Год выхода
2025
Всего подписок
0
Всего просмотров
14

Библиография

  1. 1. Сорокин И.А., Колодко Д.В., Краснобаев К.И. // РЭ. 2020. Т.65. №3. С.288.
  2. 2. Sorokin I.A., Kolodko D.V. // Vacuum. 2023. V. 207. Article No. 111570.
  3. 3. Vedeneev A. S., Luzanov V. A., Rylkov V. V. // Semiconductors. 2019. V. 53. № 14. P. 1970.
  4. 4. Николаев С.Н., Веденеев А.С., Лузанов В.А. и др. // РЭ. 2021. Т. 66. № 10. С. 1024.
QR
Перевести

Индексирование

Scopus

Scopus

Scopus

Crossref

Scopus

Высшая аттестационная комиссия

При Министерстве образования и науки Российской Федерации

Scopus

Научная электронная библиотека