Везде

ОФНРадиотехника и электроника Journal of Communications Technology and Electronics

  • ISSN (Print) 0033-8494
  • ISSN (Online) 3034-5901

Получение монокристаллических пленок оксида цинка на металлическом подслое

Вы можете
Код статьи
10.31857/S0033849423050108-1
DOI
10.31857/S0033849423050108
Тип публикации
Статус публикации
Опубликовано
Авторы
Лузанов В. А.
  • Аффилиация: Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Том/ Выпуск
Том 68 / Номер выпуска 5
Страницы
470-471
Аннотация
Для увеличения эффективности работы устройств на основе пьезоэлектрических преобразователей из оксида цинка предложено использовать монокристаллические слои платины в качестве нижнего электрода. Получены эпитаксиальные монокристаллические пленки оксида цинка на металле. Показано, что данное сочетание слоев позволяет минимизировать рассогласование по параметрам решетки пленки и подложки, что существенно повышает качество полученной пьезоэлектрической пленки.
Ключевые слова
Дата публикации
16.09.2025
Год выхода
2025
Всего подписок
0
Всего просмотров
13

Библиография

  1. 1. Лузанов В.А., Алексеев С.Г., Ползикова Н.И. // РЭ. 2018. Т. 63. № 9. С. 1015.
  2. 2. Morales C., Leinen D., del Campo A. et al. // J. Alloys and Compounds. 2021. V. 884. Article No. 161056.
  3. 3. Franklin J.B., Zou B., Petrov P. et al. // J. Material Chemistry. 2021. V. 21. № 22. P. 8178.
  4. 4. Steiger P., Zhang J., Harrabi K. et al. // Thin Solid Films. 2018. V. 645. P. 417.
QR
Перевести

Индексирование

Scopus

Scopus

Scopus

Crossref

Scopus

Высшая аттестационная комиссия

При Министерстве образования и науки Российской Федерации

Scopus

Научная электронная библиотека